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设备用途通过高速旋转的电机带动晶圆转动，结合手动滴胶，将光刻胶均匀的涂覆到晶圆上。
主要技术指标：可用晶圆尺寸：2inch 3inch 4inch圆和≥1cm2碎片最大转速：8000rpm
