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设备用途通过高速旋转的电机带动晶圆转动,结合自动喷涂显影液和背洗,从而实现晶圆的显影工艺。带有自动热板和冷板。
主要技术指标:可用晶圆尺寸:2inch 3inch最大转速:4500rpm转速偏差:±5RPM热板温度范围: 室温-160℃冷板温度范围:室温-25℃显影均匀性:5%