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设备用途通过高速旋转的电机带动晶圆转动，结合自动喷涂显影液和背洗，从而实现晶圆的显影工艺。带有自动热板和冷板。
主要技术指标：可用晶圆尺寸：2inch 3inch最大转速：4500rpm转速偏差：±5RPM热板温度范围： 室温-160℃冷板温度范围：室温-25℃显影均匀性：5%
