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设备用途通过高速旋转的电机带动晶圆转动，结合自动滴胶，将光刻胶均匀的涂覆到晶圆上。带有自动热板和冷板。
主要技术指标：可用晶圆尺寸：2inch 3inch最大转速：4500rpm转速偏差：±1RPM热板温度范围： 50-150℃冷板温度范围：18-28℃膜厚均匀性：3%（对2μm厚度以下胶）
