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设备用途蒸镀金、镍、钛、铂、铜、铝、铬等金属材料，配有热蒸发功能（银、硅、钨、铟、钽、钼、锗，氧化铬、氧化硅等）
主要技术指标：镀膜尺寸：2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 及碎片均匀性：≤±5%加热温度：0-200℃极限真空：6.7×10-5 Pa
