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设备用途蒸镀金、氧化铝、五氧化二钽、氧化铬、ITO、GSBT等材料 （镍、钛、铂、铜、铁、铝、铬、银、硅、钨、铟、钽、钼、锗，氧化铬、氧化锌、氧化硅、氧化铝。）也可自带靶材镀其他材料。
主要技术指标：镀膜尺寸：2inch 3inch 4inch 6inch及碎片均匀性：≤±5%加热器最高烘烤温度：300℃极限真空度：≤6.7×10-5Pa
