主要技术指标：
样品尺寸：可同时研磨抛光4英寸及其以下尺寸样品
精度： 2英寸以下晶圆磨抛精度±1微米；
           3英寸晶圆磨抛精度±2微米；
           4英寸晶圆磨抛精度±3微米；
           5英寸晶圆磨抛精度±4微米；